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浙江 珂勒曦动力设备股份有限公司

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福建负压真空泵螺杆真空泵溅射离子泵使用维护的几个要点
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产品: 浏览次数:0福建负压真空泵螺杆真空泵溅射离子泵使用维护的几个要点 
品牌: 珂勒曦
单价: 面议
最小起订量: 1 台
供货总量: 100 台
发货期限: 自买家付款之日起 35 天内发货
有效期至: 2020-05-26
最后更新: 2019-11-26 15:36
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详细信息
溅射离子泵是一种可以应用于超高真空下的清洁无油真空泵,螺杆真空泵厂家珂勒曦在《珂勒曦小课堂:溅射离子泵的原理》中介绍过它。今天我们再来了解下溅射离子泵在使用维护中需要注意的几个问题。
首先关于烘烤。溅射离子泵如果长期暴露于大气中,会因为泵内的钛沉积层吸附水汽,导致泵启动困难、极限压力升高、抽速变小等问题,因此启动前需要经过烘烤。烘烤时需要将磁钢、各种引线、橡胶密封圈等拆下,缓慢升温至250~300℃,然后恒温12小时,并且保证烘烤时泵内真空度不低于0.1Pa。
其次是清洗处理。溅射离子泵如果受过油蒸气或者其他有机物污染,阴极板氧化或大量排过氢气,会影响到它的真空度。这时一般会在烘烤除气后再进行氩清洗处理。过程是用氩离子轰击钛板,将阴极板上的污染物或溶解在阴极板里的氢轰击出来,再被大量溅射的钛所吸收或埋葬掉。充氩压力维持在10-2Pa量级或观察离子流维持早10~200mA之间摆动。整个清洗过程大约在1~2小时。
最后是使用压力与寿命。溅射离子泵的溅散率取决于轰击的离子数与能量,压力越高,阴极溅射越剧烈,因此它的使用寿命是与工作压力成法比的。所以虽说溅射离子泵的工作压力范围可以从1Pa到10-10Pa,但为提高溅射离子泵的使用寿命,尽量不要在10-2Pa以上的压力范围下工作。
浙江珂勒曦动力设备股份有限公司是一家专业的空气动力设备制造商,拥有16年鼓风机、真空泵、空压机设备销售及维护维修经验。拥有设备及生产线,独立的研发团队,拥有自研核心主机,品质坚实,售后更有保障。
珂勒曦螺杆真空泵,单极突破0.1pa极限真空泵,可长时间运行,并且针对国内高温差、高湿度、高粉尘环境做了针对性优化,更适应国内的各类工况环境,实际应用实现更低故障率,更低能耗,更高能效。广泛应用于电子光伏、包装行业、真空模拟、风洞实验和造纸与印刷等各种生产行业。如果您对珂勒曦螺杆鼓风机感兴趣或想了解更多信息,欢迎留言咨询或拨打珂勒曦全国免费客服热线:400-886-7766,期待您的来电。
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企业档案

    浙江 珂勒曦动力设备股份有限公司

  • 公司类型:企业单位 ()
  • 成立时间:2016
  • 公司规模:50-99人
  • 注册资本:1900万人民币
  • 主营行业: 机械设备

联系方式

  • 联系人:珂勒曦
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  • 公司地址:浙江省临海市江南街道江南大道288号